全封閉式桌面顯影機

簡要描述：全封閉式桌面顯影機主要用于半導體制造中晶片的顯影工藝，性價比高，穩(wěn)定性好，重復性好，對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動，實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。

產(chǎn)品分類

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詳細介紹

品牌	LEBO/雷博	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子	產(chǎn)品尺寸	550mm (W) x600mm (D) x405mm (H)

產(chǎn)品優(yōu)勢

·全封閉式顯影，避免霧氣擴散到外部，污染環(huán)境。

·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。

·內(nèi)腔不銹鋼材質(zhì)，鏡面拋光處理，光滑，耐腐蝕，易清洗。

·內(nèi)置真空過濾器，防止液體吸入真空泵。

·真空壓力可調(diào)，壓力值實時顯示。

·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào)。

產(chǎn)品參數(shù)

支持wafer尺寸：碎片至200mm（8"圓晶）

·轉(zhuǎn)速分辨率：±1 RPM

·旋涂速度：20-3000rpm（空載）

·旋涂加速度：20-10,000rpm/sec（空載）

·工藝時間設定： 0-3,000sec/step，時間設置精度： 0.1sec

·該機型適用于標準3路顯影機（1路顯影液，1路純水，1路氮氣）

·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序

·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。

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江蘇雷博科學儀器有限公司

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